产品名称:等离子测试系统
产品型号:CY-PLT30-A
供货厂商:浩逸科学仪器
〓等离子测试系统介绍〓:
CY-PLT30-A 等离子测试系统为客户定制等离子测试设备。◎设备主要部件为一个电感耦合的等离子发生器,发生器能够在电感线圈内部的石英管内产生等离子体,石英管两侧的法兰配有观察窗,用户可以在观察窗上观察实验现象或者用其他仪器测量相关参数。设备采用触控屏控制,屏幕集成所有实验功能,如抽放真空、流量控制、射频电源调节等。◎同时电感线圈采用水冷设计,外壳另有散热风扇,保证了整套设备长时间工作的稳定性。◎该设备是高校实验室进行等离子体相关性质研究的必备仪器。
〓技术规格〓:
供电电压 | AC220V,50Hz |
*大功率 | 1KW |
耦合方式 | 电感耦合 |
石英腔体 | O.Dφ30mm X 150mm 壁厚3.5mm |
观察窗尺寸 | φ30mm |
真空接口 | KF16 |
进气口接口 | 6.35mm 卡套接头 |
质量流量计 | Ar标定 量程100sccm |
真空泵 | 双极旋片真空泵 |
极限真空度 | 0.1Pa |
冷却方式 | 水冷铜管+风冷壳体 |
射频电源 | *大输出功率300W 自动匹配 频率13.56MHz |
整机尺寸 | 560mm X 620mm X 620mm |